EBSD 技術(shù)是基于掃描電子顯微鏡（SEM）中電子束在傾斜（一般為 70°）樣品表面上激發(fā)出近似相干的背散射電子，被探頭收集并形成衍射菊池花樣，從而分析確定晶體結(jié)構(gòu)、取向及相關(guān)信息的方法，在材料科學研究中獲得了非常廣泛的應(yīng)用。

      EBSD 相關(guān)基礎(chǔ)知識：

      標定率：計算機準確標定出的菊池花樣點數(shù)占總采集點數(shù)的比值。

      EBSD 物相的鑒定需要計算機采集的物相信息（菊池花樣）與數(shù)據(jù)庫作比對。若一致，即可標定；若不一致，則無法標定，即無法準確判斷是什么物質(zhì)。所以只有提供準確的物相信息，才能做準確的 EBSD 測試。

      EBSD 質(zhì)量主要取決于標定率，而標定率影響因素主要有三個：1.晶粒完整性 2.樣品內(nèi)應(yīng)力 3.制樣水平 若樣品本身同時存在晶體和非晶，或樣品變形程度很大，抑或拋光質(zhì)量不好，都將導(dǎo)致標定率偏低。另外，部分樣品自身是順磁性（如 Fe、Co、Ni 等）或者磁性（NdFeB 等），會與 SEM 的磁線圈相互作用而導(dǎo)致實驗過程中 SEM 的像散發(fā)生動態(tài)變化，從而惡化 EBSD 的實驗效果。