項(xiàng)目介紹和特點(diǎn)
三維形貌輪廓儀的測試原理是白光干涉，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另一束經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
三維形貌輪廓儀的特點(diǎn)：
1. 采用光學(xué)干涉技術(shù)，對樣品沒有破壞性
2. 可以快速進(jìn)行表面形貌分析，高精度，高重復(fù)性。
3. 能提供多種表面參數(shù)，如斷差高度、夾角、粗度、薄膜厚度及平整度等。