X射線光電子能譜儀
Thermo escalab 250Xi 美國賽默飛生產(chǎn) 

技術參數(shù)

分析深度：10nm以內(nèi)；

元素檢出限：0.01-1%；

微聚焦單色源：分析尺寸在20μm～900μm之間連續(xù)可調(diào)；
測試溫度：室溫-400℃；
自動化高效離子剖析源：新型Ar離子團簇與傳統(tǒng)單粒子離子源相結(jié)合，用于各類材料的深度剖析研究；
高精確度角分辨XPS：軟件控制分析位置和角度，確保數(shù)據(jù)的精確性和重復性。全套的ARXPS數(shù)據(jù)處理工具，可對納米尺度的多層結(jié)構器件進行層厚計算；
紫外光電子能譜：可計算功函以及價帶的位置
可做元素mapping

應用范圍

Thermo ESCALAB 250Xi X射線光電子能譜綜合了高靈敏度與高分辨率定量成像以及多種測試技術能力。是眾多材料特性表征技術中行之有效的測試手段，目前已成為從生物材料到半導體材料等許多技術領域先進材料開發(fā)的重要工具。先進的Avantage數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)確保了從測試數(shù)據(jù)中挖掘盡可能多的信息。 同時還配備了微聚焦X射線單色器，提供優(yōu)化的XPS性能，其市場領先的靈敏度確保了最大樣本量。XPS并行成像是選擇最好橫向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空間分辨率優(yōu)于3μm。                              

物質(zhì)定性分析                                  
根據(jù)測得的光電子動能可確定材料表面存在哪些元素，靈敏度(0.1%)。                                  
物質(zhì)定量分析                                  
根據(jù)某種能量的光 電子的強度確定元素在其表面的含量，誤差20%左右.                                  
元素化學態(tài)分析                                  
根據(jù)某元素光電子動能的位移可了解元素所處的化學狀態(tài)。