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Applied Range SU8010是日立SU8000系列超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,擁有卓越的高分辨性能、先進(jìn)的探測(cè)技術(shù)和友好的用戶界面,使它能夠精確和清楚地捕捉最短暫的瞬間。 儀器采用了新型ExB式探測(cè)器和電子束減速功能,提高了圖像質(zhì)量,尤其是將低加速電壓下的圖像質(zhì)量提高到了新的水平;其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào),實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè);還選配的STEM探測(cè)器,還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè),同時(shí)配備有高性能的HORIBA EX-350,可同時(shí)進(jìn)行微區(qū)、亞微區(qū)成分定性和定量以及元素分布分析。
形貌分析
通過(guò)形貌分析可獲得樣品的形貌、粒徑、分散性等相關(guān)信息,同時(shí)還可通過(guò)專(zhuān)用的背散射探頭對(duì)金屬、陶瓷樣品的質(zhì)厚襯度像進(jìn)行進(jìn)一步的表征,可用于納米材料、金屬材料、薄膜材料、半導(dǎo)體材料、陶瓷材料、生物組織形貌像的觀 察,同時(shí)還可對(duì)材料斷口和失效模式進(jìn)行分析。
成分分析
微區(qū)成分分析,通過(guò)對(duì)樣品微區(qū)、亞微區(qū)成分進(jìn)行分析定性、定量分析,可確定樣品的組成。可選擇性的對(duì)樣品進(jìn)行能譜點(diǎn)測(cè)、能譜線掃、能譜面分布分析,獲得樣品中的元素在一個(gè)點(diǎn)、一條線、一個(gè)面上的分布情況。
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