X射線光電子能譜，簡稱XPS，是一種元素分析方法。所用激發(fā)源(探針)是單色X射線，探測從樣品表面出射的光電子的能量分布。由于電子能譜中包含著樣品有關(guān)表面電子結(jié)構(gòu)的重要信息，用它可直接研究表面及體相的元素組成、電子組態(tài)和分子結(jié)構(gòu)，以此來分析元素的價(jià)態(tài)以及樣品的分子結(jié)構(gòu)信息（例如同分異構(gòu)體以及半導(dǎo)體樣品的價(jià)帶頂位置）。對于深度方向非均相樣品中，可以進(jìn)行元素組成的表面分布分析和深度剖析，或者一定程度上的微區(qū)定點(diǎn)分析。

 XPS數(shù)據(jù)解析是指通過對初始圖譜進(jìn)行定標(biāo)、分峰、擬合、比對、積分等一系列的操作而獲得待測樣品結(jié)構(gòu)組成一種數(shù)據(jù)處理手段，常用的XPS數(shù)據(jù)解析軟件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等。通過XPS數(shù)據(jù)分析我們可得到樣品表面的元素組成、含量、化學(xué)價(jià)態(tài)、官能團(tuán)種類、化學(xué)鍵合方式等信息，可分為定性分析和定量分析兩種。