場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

TESCAN CLARA    捷克

技術(shù)參數(shù)

1）二次電子成像分辨率：≤0.9nm@15kV，≤1.4nm@1kV(非

樣品臺(tái)減速），≤1.2nm@1kV（樣品臺(tái)減速模式）；

2) 電子光學(xué)系統(tǒng)：(1)電子槍：高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍;(2)*放大倍數(shù)≥4~2,000,000倍；（3）視野范圍：工作距離為10mm時(shí)視野范圍不小于7mm，最大工作距離時(shí)視野范圍不小于50mm；（4）*束流范圍：最大束流不小于400nA，電子束流連續(xù)可調(diào)；（5）加速電壓范圍：≥50eV-30 keV.

應(yīng)用范圍

TESCAN 是一家專注于微觀形貌、結(jié)構(gòu)和成分分析的科學(xué)儀器的跨國(guó)公司，是全球知名的電子顯微儀器制造商，總部位于全球最大的電鏡制造基地-捷克布爾諾，產(chǎn)品主要有電子顯微鏡、聚焦離子束、X射線CT、電鏡和拉曼、雙束電鏡和二次離子質(zhì)譜的一體化聯(lián)用系統(tǒng)及相關(guān)分析附件和軟件，正被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球科學(xué)、半導(dǎo)體和電子器件等領(lǐng)域中。

利用它可以進(jìn)行

形貌分析

通過(guò)形貌分析可獲得樣品的形貌、粒徑、分散性等相關(guān)信息，同時(shí)還可通過(guò)專用的背散射探頭對(duì)金屬、陶瓷樣品的質(zhì)厚襯度像進(jìn)行進(jìn)一步的表征，可用于納米材料、金屬材料、薄膜材料、半導(dǎo)體材料、陶瓷材料、生物組織形貌像的觀察，同時(shí)還可對(duì)材料斷口和失效模式進(jìn)行分析。

成分分析                

微區(qū)成分分析，通過(guò)對(duì)樣品微區(qū)、亞微區(qū)成分進(jìn)行分析定性、定量分析，可確定樣品的組成?？蛇x擇性的對(duì)樣品進(jìn)行能譜點(diǎn)測(cè)、能譜線掃、能譜面分布分析，獲得樣品中的元素在一個(gè)點(diǎn)、一條線、一個(gè)面上的分布情況。   

檢測(cè)案例

                                                            二次電子像檢測(cè)案例   

石墨烯摻雜

孔狀結(jié)構(gòu)

金屬表面

                                                   背散射像檢測(cè)案例

                                                    能譜點(diǎn)掃檢測(cè)案例 

                                                   能譜線掃檢測(cè)案例

                                                   能譜面分布檢測(cè)案例

送樣要求

粉末樣品：干燥，樣品量大于3mg。

液體樣品：樣品量大于0.5ml。

塊體/薄膜樣品：高度需要低于5cm，長(zhǎng)寬最好是小于5cm，如果式樣尺寸較高或者較大，需要提前溝通。若需要做截面制樣的樣品，需要提供更大尺寸，長(zhǎng)寬至少大于1cm*1cm，以防制樣一次失敗無(wú)多余樣品。如果區(qū)分正反面，或者存在特殊測(cè)試區(qū)域，一定要提前做好標(biāo)記。