X射線光電子能譜儀
Thermo escalab 250Xi 美國(guó)賽默飛生產(chǎn) 

技術(shù)參數(shù)

分析深度：10nm以內(nèi)；

元素檢出限：0.01-1%；

微聚焦單色源：分析尺寸在20μm～900μm之間連續(xù)可調(diào)；
測(cè)試溫度：室溫-400℃；
自動(dòng)化高效離子剖析源：新型Ar離子團(tuán)簇與傳統(tǒng)單粒子離子源相結(jié)合，用于各類材料的深度剖析研究；
高精確度角分辨XPS：軟件控制分析位置和角度，確保數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性。全套的ARXPS數(shù)據(jù)處理工具，可對(duì)納米尺度的多層結(jié)構(gòu)器件進(jìn)行層厚計(jì)算；
紫外光電子能譜：可計(jì)算功函以及價(jià)帶的位置
可做元素mapping

應(yīng)用范圍

Thermo ESCALAB 250Xi X射線光電子能譜綜合了高靈敏度與高分辨率定量成像以及多種測(cè)試技術(shù)能力。是眾多材料特性表征技術(shù)中行之有效的測(cè)試手段，目前已成為從生物材料到半導(dǎo)體材料等許多技術(shù)領(lǐng)域先進(jìn)材料開(kāi)發(fā)的重要工具。先進(jìn)的Avantage數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)確保了從測(cè)試數(shù)據(jù)中挖掘盡可能多的信息。 同時(shí)還配備了微聚焦X射線單色器，提供優(yōu)化的XPS性能，其市場(chǎng)領(lǐng)先的靈敏度確保了最大樣本量。XPS并行成像是選擇最好橫向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空間分辨率優(yōu)于3μm。                              

物質(zhì)定性分析                                  
根據(jù)測(cè)得的光電子動(dòng)能可確定材料表面存在哪些元素，靈敏度(0.1%)。                                  
物質(zhì)定量分析                                  
根據(jù)某種能量的光 電子的強(qiáng)度確定元素在其表面的含量，誤差20%左右.                                  
元素化學(xué)態(tài)分析                                  
根據(jù)某元素光電子動(dòng)能的位移可了解元素所處的化學(xué)狀態(tài)。