離子減薄制樣技術(shù)的基本原理是利用離子束轟擊材料表面，將表面的原子或分子逐層剝離，經(jīng)過一定時間的轟擊，最終制備出非常薄的樣品。其中，離子束的能量和束流密度是影響制備樣品質(zhì)量的重要因素。通常情況下，離子束的能量越高，制備出的樣品越薄。離子束的束流密度越大，制備出的樣品越平整。離子減薄技術(shù)可以制備出非常薄的樣品，通常在納米尺度下，這種技術(shù)在材料科學(xué)、電子學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。